展會快訊 | 中科科儀亮相IC WORLD大會,隆重推出半導體行業專用磁懸浮分子泵
10月22-24日,2021年北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在北京亦創國際會展中心召開,本屆大會以“凝聚芯力量,打造芯永恒”為主題,召開了精彩紛呈的學術會議,集中探討集成電路產業鏈關鍵核心技術。會議同期舉辦博覽會,覆蓋以半導體產業為核心的集成電路裝備與零部件相關企業,吸引了200多家企業參展交流。
中科科儀作為集成電路裝備核心零部件領先供應商,攜多款產品參加了本次展會,向業內專家和廣大客戶展示了半導體設備國產化解決方案。其中,中科科儀承擔的國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”專項中“磁懸浮分子泵系列產品開發及產業化”項目經過技術迭代,產品穩定性、可靠性得到大幅提升,并在芯片制造前道工藝如刻蝕、離子注入設備中實現長期無故障運行,為我國集成電路裝備核心零部件國產化提供了有效解決方案。本次展會中,中科科儀展出的CXF-250/2302CV即是針對半導體刻蝕工藝研發的磁懸浮分子泵,有效解決了半導體前道工藝高真空核心零部件“卡脖子”問題。
集成電路產業是信息技術產業的核心,是支撐經濟社會發展和保障國家安全的戰略性、基礎性和先導性產業。當前,我國集成電路產業正處在前所未有的大變局中,一方面數字經濟、新基建正成為我國集成電路產業發展的重要驅動力,另一方面,復雜的外部產業環境變化也為我國集成電路產業帶來全鏈突破、加速發展的歷史性機遇。中科科儀作為半導體裝備核心零部件供應商,憑借自身多年來在真空和電子光學領域的技術積淀,以國家隊、國家人的使命擔當,以攻堅克難、敢為人先的氣魄,不斷突破關鍵核心技術,為我國科技自立自強做出應有的貢獻!
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