磁懸浮分子泵產品是集成電路制造裝備的關鍵核心零部件，為工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體制造關鍵工藝過程提供所需的高潔凈度超高真空環境。由于半導體產業鏈價值較高，對其生產工藝中的各項裝備可靠性要求極其嚴苛。磁懸浮分子泵作為關鍵核心零部件，不僅需滿足半導體制造裝備的各項工藝技術指標，還需要滿足其苛刻的安全性、可靠性要求。今天，小編特向您介紹中科科儀半導體行業專用CV/CS型磁懸浮分子泵。

CV型磁懸浮分子泵主要應用于半導體刻蝕裝備，其中，C代表耐腐蝕性能，V代表防沉積性能；CS型磁懸浮分子泵主要應用于半導體離子注入裝備，也適用于回旋加速器等工業過程領域，其中S代表分體型，適用于高壓、高電磁輻射的應用場景。CV/CS型磁懸浮分子泵聚焦半導體行業的更高要求，擁有更高的性能和更好的體驗，關鍵核心技術完全自主可控，可滿足您的定制化需求。?

產品突出特點：

（1）卓越可靠的耐腐蝕能力

半導體刻蝕、沉積等工藝過程中會使用強腐蝕性工藝氣體，因此要求分子泵的核心部件具有針對特定工藝氣體的耐腐蝕能力。

CV/CS型磁懸浮分子泵渦輪及靜片表面涂覆有復合耐腐蝕涂層，保護渦輪及靜片基材免受腐蝕氣體的侵蝕。

（2）安全穩定的防沉積能力

半導體制造過程中的某些工藝氣體易發生冷凝沉積，為抑制其沉積到分子泵內部抽氣通道和附件管道造成堵塞，需要分子泵整體進行加熱以具有較高溫度，防止工藝氣體冷凝沉積。

CV/CS型磁懸浮分子泵采用航空級高強度鋁合金，結合優化設計的散熱通道，實現了分子泵在加熱及大流量氣載時的安全穩定運行。

（3）配置靈活的分體式設計

半導體離子注入和粒子加速器等領域大多存在強電場和強磁場，部分惡劣工況存在強電離輻射，這樣的環境可能影響分子泵控制器正常工作，縮短分子泵使用壽命甚至造成損壞。

CS型磁懸浮分子泵將分子泵本體與控制器分開，通過長線纜相連，能夠使控制器遠離強電磁環境，分子泵本體選配電磁防護罩，可進一步提升分子泵的抗電磁干擾能力。

（4）緊湊便利的高集成設計

半導體制造領域機臺設備集成度較高，設備和附件的結構較為緊湊、安裝空間較為有限。

CV/CS型磁懸浮分子泵結構緊湊、體積小、安裝便利，便于在機臺中布置。

作為半導體裝備核心零部件供應商，中科科儀憑借在真空行業的領軍地位和四十多年的技術積淀，承擔了國家重大科技專項《極大規模集成電路制造技術及成套工藝》項目中《磁浮分子泵系列產品開發與產業化》項目，成功研制了中國第一臺具有自主知識產權的磁懸浮分子泵，主導制定了中國磁懸浮分子泵行業標準，陸續推出系列磁懸浮分子泵產品，完成供應鏈自主可控，實現科技成果規模產業化，在工業領域取得了廣泛應用。同時，中科科儀聚焦半導體行業需求，持續研發推出特殊工藝專用磁懸浮分子泵產品，實現半導體制造領域國產化替代，助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問題，為半導體產業設備核心部件國產化發展做出貢獻！