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中科科儀亮相粵港澳真空科技創新發展論壇，助力半導體行業真空技術發展

發布時間:2022-09-27 文章來源: 瀏覽量:

金風送爽，丹桂飄香。9月22日至24日，第六屆粵港澳真空科技創新發展論壇暨廣東省真空學會學術年會在廣州科學城成功舉辦，同期舉辦“先進微納制造技術與前沿應用高峰論壇”，作為中國尖端科學儀器和真空技術的引領者，中科科儀受邀出席，分享半導體行業專用磁懸浮分子泵技術。

本屆展會由廣東省真空學會、廣東省真空產業技術創新聯盟主辦，廣州今泰科技股份有限公司承辦。會議特邀十余位國內外著名專家和行業龍頭企業做大會報告，交流真空技術在電子信息、半導體器件、新能源開發、工模具涂層、微納制造領域的最新應用進展。中科科儀真空技術研發中心時劍文博士在真空裝備與應用工藝會場做了題為《半導體行業專用磁懸浮分子泵技術》的線上報告，系統介紹磁懸浮分子泵技術及磁懸浮分子泵在半導體行業應用，獲得與會專家和學者的一致好評。

真空產業作為知識密集、技術密集的戰略性新興產業，是支撐戰略性產業發展的基礎產業，也是未來技術競爭的制高點，市場發展潛力巨大。作為國家戰略科技力量投資興辦企業，中科科儀面向國家戰略需求，聚焦主責主業發展，聚力核心技術攻關，培育壯大新興產業，搶抓市場新機遇。集成電路零部件是決定我國集成電路產業高質量發展的關鍵領域。磁懸浮分子泵可獲得清潔無油的超高真空環境，是集成電路前道工藝刻蝕、離子注入、薄膜沉積裝備的關鍵核心零部件。中科科儀自研制中國首臺磁懸浮分子泵以來，加速推進磁懸浮分子泵規模產業化，產品廣泛應用于半導體、光伏、鍍膜、平板顯示、科學研究、新能源、新材料等領域。其中，中科科儀系列半導體行業專用磁懸浮分子泵具有卓越可靠的耐腐蝕能力、安全穩定的防沉積能力、配置靈活的分體式設計以及緊湊便利的高集成設計特點，性能指標對標國際一流產品，有效成為集成電路裝備制造的國產化解決方案。