在中科院高能所的大力支持下，中科科儀控股公司中科科美突破多項先進制造技術，成功研制的直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置于2021年6月8日正式投入使用，這標志著我國重大科技基礎項目—高能同步輻射光源建設進入關鍵期。近日，小編看到網絡上有自媒體朋友將此事件與我國EUV光刻機研制技術聯系起來，稱高精密鍍膜裝置的成功研制將會攻克EUV光學鏡頭的技術壁壘，使我國在短時間內掌握了制造光刻機的核心技術。針對這些評論，小編首先對社會各界對中科科美的密切關注表示感謝，其次，也借此機會為大家正式解讀一下直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置在高能同步輻射光源中的具體作用是什么？與EUV光刻機的研制又有何關系？

01 高能同步輻射光源（HEPS）

同步輻射是接近光速的帶電粒子在磁場中沿弧形軌道運動時放出的電磁輻射，1947年人類在電子同步加速器上首次觀測到這種電磁波，稱其為 “同步輻射”。同步輻射具有從遠紅外、可見光、紫外到X射線范圍內的連續光譜、高強度、高度準直、高度極化、特性可精確控制等優異性能的脈沖光源，可應用于物理、化學、材料科學、生命科學、信息科學、力學、地學、醫學、藥學、農學、環境保護、計量科學、超微細加工等眾多前沿微觀科學技術研究。

同步輻射光源是產生同步輻射的物理裝置。同步輻射裝置的建造及在其上的研究、應用，經歷了三代的發展。由國家發展改革委立項支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步輻射光源（HEPS），是國家“十三五”重大科技基礎設施項目之一，于2019年6月29日在北京懷柔科學城開工建設，2021年6月28日首臺科研設備安裝，將于 2025年底驗收并投入運行，建成后將是中國第一臺高能同步輻射光源，也將是世界上最亮的第四代同步輻射光源。它的整體建筑外形似一個放大鏡，寓意為探測微觀世界的利器。

照片來源：百度百科

高能同步輻射光源主要包括加速器，增強環，儲存環，光速線和實驗站。光束線沿著電子儲存環的外側分布，是用戶實驗站與電子儲存環之間的“橋梁”。它通過安裝在真空管道內的一系列精密光學系統（涉及的主要光學元件有準直狹縫、聚焦鏡、單色儀和反射鏡等），對從電子儲存環引出的同步輻射光，按要求進行加工，如分光、準直、聚焦等，并輸送到用戶實驗站。

照片來源：百度百科

02 勞埃透鏡和納米聚焦鏡

勞埃透鏡和納米聚焦鏡是對光進行加工的非常重要的精密光學鏡。勞埃透鏡主要用于X射線的聚焦，衍射極限可達1nm以下，可進行單原子的檢測試驗，如此高的空間分辨能力將使得材料結構在一個嶄新的微觀尺度得以呈現。納米聚焦鏡用于同步輻射光的調制，包含對光速線單色、準直、聚焦、散焦、限能等。對于應用于高能量、短波長X射線聚焦的勞埃透鏡，膜層質量要求極高：高精度納米量級萬層膜，膜厚精度控制在0.1納米以內，最大總膜厚控制在100μm以內，膜層及膜層界面粗糙度均控制在0.5nm以內。納米聚焦鏡，除上述這些要求外，還需要制備出精密均勻的二維曲面膜。這些嚴苛指標，對鍍膜系統總體性能提出了極大挑戰，特別是對鍍膜系統的長距離運動精度、工藝重復精度、精密導軌直線度、磁控靶濺射精度及均勻性，精確變加速運動控制和精確靶功率控制、自動化技術等均提出了極高要求。

03 勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置

中科科儀控股公司中科科美憑借在真空系統集成領域深厚的專業技術積淀、強大的整體方案解決能力和一站式服務能力，突破了大型真空腔室及復雜運動系統的精密加工制造、超高真空獲得、高精度直線運動控制、高難度自動化鍍膜工藝技術等多項核心技術，成功交付直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置，可實現多種高精密光學鏡，如聚焦鏡、單色鏡、勞埃鏡、納米聚焦鏡等高質量膜層的制備，這些特殊的現代化的光學透鏡將為光束線中特定波段光源的選擇、加工、和輸送到實驗站起到關鍵作用。

看到這里，小編不說想必大家也很清楚了，我們研制的直線式勞埃透鏡鍍制裝置及納米聚焦鏡鍍制裝置主要用于同步輻射光源中精密光學鏡的鍍制，這些融入多項高端技術的光學透鏡會對入射光源進行選擇，從而得到科學家需要的波段去做對應的微觀探測。兩裝置與EUV光學鏡頭的研制設備是完全不同的技術思路和工藝路線，兩者沒有實質性的聯系，萬萬不能混為一談。

中科科儀是一家具有六十余年的發展歷史的科學儀器設備制造商，依托真空、電子光學與質譜技術，服務國家重大需求和工業水平提升?？毓晒局锌瓶泼郎罡谡婵障到y集成領域多年，參與了多項國家重大科技項目，未來，我們將繼續助力解決關鍵技術卡脖子問題，服務于國家戰略科技力量發展。